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    基于单一气源的PECVD方法制备SiC薄膜及其微观结构研究

    基于单一气源的PECVD方法制备SiC薄膜及其微观结构研究 von 李子曦, 黄景林, 谢春平, 邓承付, 易泰民, 易勇, 杜凯

    Veröffentlicht in 原子能科学技术

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