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    N極性GaN HEMT構造での無電極PECエッチング

    N極性GaN HEMT構造での無電極PECエッチング von 青田, 智也, 早坂, 明泰, 眞壁, 勇夫, 吉田, 成輝, 後藤, 高寛, 宮本, 恭幸


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    N極性GaN HEMT構造におけるコンタクト抵抗の低減

    N極性GaN HEMT構造におけるコンタクト抵抗の低減 von 毛利, 匡裕, 早坂, 明泰, 眞壁, 勇夫, 吉田, 成輝, 後藤, 高寛, 宮本, 恭幸


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    N極性GaN HEMT作製プロセスにおけるプラズマダメージの低減

    N極性GaN HEMT作製プロセスにおけるプラズマダメージの低減 von 早坂, 明泰, 青沼, 遼介, 堀田, 航史, 金井, 七重, 眞壁, 勇夫, 吉田, 成輝, 宮本, 恭幸


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    Al2O3ゲート絶縁膜を持つN極性GaN HEMT

    Al2O3ゲート絶縁膜を持つN極性GaN HEMT von 早坂, 明泰, 青沼, 遼介, 堀田, 航史, 眞壁, 勇夫, 吉田, 成輝, 宮本, 恭幸


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