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MCZシリコン単結晶のバルクライフタイムに対する低炭素化の効果
von
日笠, 光朗
,
永井, 勇太
,
中川, 聰子
,
鹿島, 一日兒
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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