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    多結晶HfO2膜における絶縁破壊箇所の同定

    多結晶HfO2膜における絶縁破壊箇所の同定 von 戸村, 有佑, 蓮沼, 隆, 山部, 紀久夫, 右田, 真司


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    極薄アモルファス及び多結晶HfO2膜の信頼性評価

    極薄アモルファス及び多結晶HfO2膜の信頼性評価 von 戸村, 有佑, 蓮沼, 隆, 山部, 紀久夫, 右田, 真司


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    微小電極面積を有する極薄多結晶HfO2膜の電気的特性

    微小電極面積を有する極薄多結晶HfO2膜の電気的特性 von 戸村, 有佑, 蓮沼, 隆, 山部, 紀久夫, 右田, 真司


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