光ナノインプリント技術 von 廣島, 洋

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ナノインプリントの進展 von 廣島, 洋

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易液化ガスPFPを用いたナノインプリント von 廣島, 洋

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凝縮性ガスPFPを用いた光ナノインプリント von 廣島, 洋

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ナノギャップ電極のアレイ化に向けたスピンオングラスを用いたUVナノインプリント-多層リフトオフプロセスの評価 von 橋口, 恭平, 鈴木, 健太, 廣島, 洋, 菅, 洋志

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ペンタフルオロプロパンを利用する光ナノインプリント(UV-NIL in PFP) von 廣島, 洋

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12-inch X-ray optics based on MEMS process von Ishikawa, Kumi, Ezoe, Yuichiro, Numazawa, Masaki, Ogawa, Tomohiro, Sato, Mayu, Nakamura, Kasumi, Ohashi, Takaya, Mitsuda, Kazuhisa, Maeda, Ryutaro, Hiroshima, Hiroshi, Kurashima, Yuichi, Noda, Daiji

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光ナノインプリントにおける充填課程のフルフィールド観察 von 廣島, 洋, 王, 清

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UV Nanoimprint Technology von HIROSHIMA, Hiroshi

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PMMA薄膜の熱ナノインプリントにおけるフッ素液体を用いた液浸効果 von 銘苅, 春隆, 廣島, 洋

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インプリント圧力より高い飽和蒸気圧の凝縮性ガスを用いたUVナノインプリントプロセス von 鈴木, 健太, 尹, 成圓, 高木, 秀樹, 廣島, 洋

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熱ナノインプリントにおけるフッ素液体の滴下効果 von 銘苅, 春隆, 廣島, 洋

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液中アライメント用UVナノインプリントモールドの作製 von 鈴木, 健太, 尹, 成圓, 王, 清, 廣島, 洋

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ペンタフルオロプロパンを利用する光ナノインプリントによるsub-100 nmのパターン形成 von 廣島, 洋, 王, 清, 尹, 成圓

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宇宙望遠鏡用X線MEMSミラーのためのSi高精度湾曲加工 von 倉島, 優一, 前田, 敦彦, 廣島, 洋, 高木, 秀樹, 近藤, 英一, 江副, 祐一郎

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サブ100nmパターンを有する容積均一化モールドを使用する残膜の均一化に関する評価 von 鈴木, 健太, 尹, 成圓, 王, 清, 廣島, 洋, 西岡, 泰城

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連続ＵＶナノインプリントおける離型層劣化要因の検討 von 伊吉, 就三, 岡田, 真, 春山, 雄一, 中川, 勝, 廣島, 洋, 松井, 真二

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UVナノインプリントの繰返し離型における添加剤の耐久性評価 von 伊吉, 就三, 岡田, 真, 春山, 雄一, 松井, 真二, 中川, 勝, 廣島, 洋

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「講演奨励賞受賞記念講演」スピンコートされた光ナノインプリント樹脂のペンタフロオロプロパン中における粘度特性 von 跡部, 英正, 廣島, 洋, 王, 清

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溝幅縮小ドライエッチングを利用したsub-50nm-UV-NILモールドの作製 von 鈴木, 健太, 尹, 成圓, 王, 清, 廣島, 洋, 西岡, 泰城

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