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    Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma from electrical discharge characteristics：comparison with optical emission spectroscopy and fluid model simulation

    Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma from electrical discharge characteristics：comparison with optical emission spectroscopy and fluid model simulation von 何湘, 刘冲, 张亚春, 陈建平, 陈玉东, 曾小军, 陈秉岩, 庞佳鑫, 王一兵

    Veröffentlicht in Plasma science & technology

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