Multi-Line-Beam CLC poly-Si TFTsにおけるチャネル不純物導入の効果 von 平岩, 弘之, 平田, 達誠, グエンティ, トゥイ, 小谷, 光司, 黒木, 伸一郎

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低温MLB-CLC poly-Si TFTsの電気特性に対する結晶粒界の影響 von 平田, 達誠, グエン, トゥイ, 平岩, 弘之, 小谷, 光司, 吉川, 公麿, 黒木, 伸一郎

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高性能poly-Si TFT特性とチャネル結晶面方位との相関 von 山野, 真幸, 黒木, 伸一郎, 平田, 達誠, 佐藤, 旦, 小谷, 光司, 吉川, 公麿

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連続発振Siレーザ結晶化におけるマルチラインビーム化の効果 von 平田, 達誠, 黒木, 伸一郎, 山野, 真幸, 佐藤, 旦, 小谷, 晃央, 吉川, 公麿

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TFTオフリーク電流低減のためのオゾンラジカル処理の研究 von 平田, 達誠, 黒木, 伸一郎, 山野, 真幸, 佐藤, 旦, 小谷, 光司, 吉川, 公麿

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