三フッ化塩素ガスによる大口径炭化ケイ素ウェハエッチング技術 von 川崎, 稜平, 謝, 林生, 林, 優也, 羽深, 等, 高橋, 至直, 加藤, 智久

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三フッ化塩素ガスを用いた直径200 mm炭化ケイ素ウェハエッチング装置の設計 von 川崎, 稜平, 羽深, 等, 高橋, 至直, 加藤, 智久

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炭化珪素エッチング条件における三フッ化塩素ガスに対する AlN の腐食性 von 春口, 瞳夕, 川崎, 稜平, 羽深, 等, 高橋, 至直

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三フッ化塩素ガスによる4H-SiCウェハエッチング分布の均一化 von 奥山, 将吾, 川崎, 稜平, 倉島, 圭祐, 羽深, 等, 高橋, 至直, 加藤, 智久

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ClF3ガスによるSiCエピリアクタークリーニングのためのサセプタ被膜耐腐食性調査 von 塩田, 耕平, 川崎, 稜平, 羽深, 等, 伊藤, 英樹, 三谷, 真一, 高橋, 至直

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三フッ化塩素を用いたSiCエピリアクタクリーニングにおける酸化イットリウム膜による石英ガラス保護効果 von 川﨑, 稜平, 梅津, 康浩, 倉島, 圭祐, 塩田, 耕平, 廣岡, 亜純, 羽深, 等

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