イオンドープpoly-Si膜のエキシマレーザによる活性化とTFTへの応用 von 綾, 洋一郎, 佐野, 景一, 納田, 朋幸, 桑原, 隆, 岩多, 浩志, 栗山, 博之, 脇坂, 健一郎, 木山, 精一, 津田, 信哉, 米田, 清

Volltext

1-4 低残像a-Siホトダイオード von 栗山, 博之, 佐野, 景一, 能口, 繁, 中島, 三郎, 岩多, 浩志, 中山, 正一郎, 岩本, 正幸, 中野, 昭一, 桑野, 幸徳

Volltext