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    SiCインゴットの新しいレーザスライシング: KABRAプロセスの開発

    SiCインゴットの新しいレーザスライシング: KABRAプロセスの開発 von 平田, 和也, 山本, 涼兵, 西野, 曜子, 村澤, 尚樹, 高橋, 邦充

    Veröffentlicht in 精密工学会誌

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