Film Deposition by Plasma Techniques von Konuma, Mitsuharu

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アブストラクト von 荒川, 一郎, 辻, 泰, 大迫, 信治, 渡辺, 文夫, 斎藤, 醇爾, 小林, 正典, 寺田, 啓子, 石丸, 肇, 中西, 弘, 堀越, 源一, 木村, 栄, 志村, 勝弘, 岡井, 忠毅, 塚田, 勉, 竹井, 日出夫, 三戸, 英夫, 長坂, 道雄, 黒住, 裕, 鈴, 康人, 千原, 一元, 西田, 啓一, 簑田, 和之, 入沢, 敏夫, 福田, 康正, 中森, 光男, 桜井, 誠, 小野, 雅敏, 平田, 正紘, 成島, 勝也, 戸田, 義継, 町田, 和雄, 村上, 寛, 後関, 璋一, 工藤, 勲, 藤原, 賢三, 松永, 栄樹, 石川, 和雄, 恩地, 勝, 西守, 克己, 徳高, 平蔵, 高島, 克己, 石黒, 勝彦, 本間, 禎一, 柿木, 直和, 木下, 正生, 小西, 亮介, 加藤, 益, 小川, 倉一, 塩山, 忠義, 高橋, 弓弦, 綱沢, 栄二, 山中, 久彦, 小沼, 光晴, 大山, 英典, 高木, 秀雄, 大野, 喜章

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縦型両面放電プラズマCVD装置の開発 von 中村, 昇, 渡部, 嘉, 小沼, 光晴, 高木, 秀雄

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プラズマCVDにおける発光スペクトルの放電周波数による変化 von 小沼, 光晴, 高木, 秀雄, 長阪, 道雄

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Effects of Discharge Frequency on Emission Spectra in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition von KONUMA, Mitsuharu, TAKAGI, Hideo, NAGASAKA, Michio

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