高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発 von 實方, 真臣, 塚本, 恵三, 美齊津, 文典

Volltext

高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電時間解析 von 實方, 真臣, 西田, 寛, 渡部, 達也, 中込, 雄基, 平井, 芳拓, 西宮, 信夫, 戸名, 正英, 平田, 直之, 山本, 宏晃, 塚本, 恵三, 冨宅, 喜代一, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測 von 横山, 英佐, 小野, 洋平, 高山, 昇大, 坂本, 大樹, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 戸名, 正英, 平田, 直之, 山本, 宏晃, 塚本, 恵三, 冨宅, 喜代一, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた Deep Oscillation Magnetron Sputtering(DOMS)のイオン組成分析 von 中込, 雄基, 西田, 寛, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 平田, 直之, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 冨宅, 喜代一, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた高出力パルスマグネトロンスパッタリングのイオン組成分析 von 中込, 雄基, 西田, 寛, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 平田, 直之, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 冨宅, 喜代一, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

Development of a Plasma Diagnostic Method for High Power Pulsed Magnetron Sputtering Using a Reflectron-Type Time-of-Flight Mass Spectrometer von Sanekata, Masaomi, Tsukamoto, Keizo, Misaizu, Fuminori

Volltext

リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた変調パルス電力マグネトロンスパッタリングの成分分析法の開発 von 中込, 雄基, 平山, 睦大, 渡部, 達也, 兼行, 亮輔, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス／パワー制御とプラズマ発光分光 von 中込, 雄基, 渡部, 達也, 平山, 睦大, 兼行, 亮輔, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美斉津, 文典

Volltext

高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ／マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測 von 中込, 雄基, 平井, 芳拓, 西田, 寛, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電およびプラズマ発光特性 von 西田, 寛, 平井, 芳拓, 中込, 雄基, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

高出力パルスマグネトロンスパッタによるプラズマ生成種の励起温度 von 西田, 寛, 平井, 芳拓, 中込, 雄基, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測 von 中込, 雄基, 西田, 寛, 平井, 芳拓, 西宮, 信夫, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の放電モード特性および放電電力特性 von 西田, 寛, 松田, 広一, 正路, 智紀, 市川, 美治, 大城, 匠, 實方, 真臣, 山本, 宏晃, 戸名, 正英, 塚本, 恵三, 中野, 元善, 大下, 慶次郎, 美齊津, 文典

Volltext

29a-PS-56 X中心型Naナノクラスターの光吸収 von 實方, 真臣, 鈴鹿, 敢

Volltext

1a-J-8 カーボンの真空中および希ガス中でのレーザーアブレーション分光 von 白石, 敦, 實方, 真臣, 望月, 章介

Volltext

30a-G-8 シリコンクラスターの光イオン化 von 富宅, 喜代一, 塚本, 恵三, 實方, 真臣, 美斉津, 文典

Volltext