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無酸素Pd/Ti蒸着したICF203ゼロレングスフィン型非蒸発型ゲッターポンプの排気性能評価と電子顕微鏡観察
Veröffentlicht in 日本表面真空学会学術講演会要旨集
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無酸素Pd/Tiを利用した非蒸発型ゲッターコーティングの開発と電子顕微鏡による観察、放射光X線光電子分光による表面分析
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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