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両面同時研磨におけるキャリアと摩擦係数並びに研磨レートの関係: キャリアが上下研磨パッドと基板相互間の摩擦係数に及ぼす影響および摩擦係数と研磨レートの相関...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集
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