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    Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductively coupled nitrogen discharges for low-voltage plasma immersion ion implantation

    Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductively coupled nitrogen discharges for low-voltage plasma immersion ion implantation von 孙晓艳 张钰如 李雪春 王友年

    Veröffentlicht in 中国物理B：英文版

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    Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductively coupled nitrogen discharges for low-voltage plasma immersion ion implantation

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    Veröffentlicht in Chinese physics B

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