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    FLA処理を行った強誘電性HfxZr1-xO2薄膜のEndurance特性の評価

    FLA処理を行った強誘電性HfxZr1-xO2薄膜のEndurance特性の評価 von 和泉, 賢人, 太田, 裕登, 河原崎, 光, 谷村, 英昭, 加藤, 慎一, 奈良, 安雄


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