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    極細線固定砥粒ダイヤモンドワイヤによる単結晶SiCの精密切断

    極細線固定砥粒ダイヤモンドワイヤによる単結晶SiCの精密切断 von 鈴木, 孝彰, 大槻, 俊紀, 閻, 紀旺

    Veröffentlicht in 日本機械学会論文集

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    ダイシングワイヤソーによる単結晶シリコンの精密切断に関する研究

    ダイシングワイヤソーによる単結晶シリコンの精密切断に関する研究 von 鈴木, 孝彰, 大槻, 俊紀, 閻, 紀旺

    Veröffentlicht in 砥粒加工学会誌

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