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革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集
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電界トライボケミカル反応を利用した高効率研磨技術の開発: 電界下における研磨界面のスラリー挙動がガラス基板の研磨特性に及ぼす影響...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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加工環境コントロール型CMP装置によるガラス基板の研磨特性: CeO2スラリー使用量の低減を指向した加工雰囲気の効果
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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電界トライボケミカル反応を利用した高能率研磨技術の開発(電界印加がスラリー動的挙動に及ぼす影響に関する画像分析とその研磨特性)...
Veröffentlicht in 日本機械学会論文集C編
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三次元スタック構造の半導体デバイスにおけるコンフォーマル成膜技術に関する研究: 第1報 回転霧化エアロゾルスプレーによるTSVの成膜方法の提案とその装置化...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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空間移動平均法とMUSIC法の併用による強相関複数騒音源の位置同定に関する研究: 小型マイクロホンアレーシステムを指向した高精度位置同定法...
Veröffentlicht in 精密工学会誌
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