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    UHV/CVD法生长硅基低位错密度厚锗外延层

    UHV/CVD法生长硅基低位错密度厚锗外延层 von 周志文 蔡志猛 张永 蔡坤煌 周笔 林桂江 汪建元 李成 赖虹凯 陈松岩 余金中 王启明

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