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    MIM capacitors with various Al2O3 thicknesses for GaAs RFIC application

    MIM capacitors with various Al2O3 thicknesses for GaAs RFIC application von 周佳辉 常虎东 刘洪刚 刘桂明 徐文俊 李琦 李思敏 何志毅 李海鸥

    Veröffentlicht in 半导体学报：英文版

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