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パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の金属汚染評価
von
尾花, 宏樹
,
阿部, 成海
,
熊谷, 祐希
,
山下, 拓真
,
小笠原, 稜
,
濱田, 樹
,
宮内, 将成
,
吉井, 稜
,
久保田, 弘
,
橋新, 剛
,
吉岡, 昌雄
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パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定技術の開発
von
山下, 拓真
,
阿部, 成海
,
熊谷, 祐希
,
尾花, 宏樹
,
濱田, 樹
,
吉井, 稜
,
久保田, 弘
,
橋新, 剛
,
吉岡, 昌雄
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パルス光伝導法を用いた非破壊界面準位密度測定のスループット向上
von
阿部, 成海
,
熊谷, 祐希
,
尾花, 宏樹
,
山下, 拓真
,
小笠原, 稜
,
濱田, 樹
,
吉井, 稜
,
久保田, 弘
,
橋新, 剛
,
吉岡, 昌雄
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パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定の精度向上
von
山下, 拓真
,
阿部, 成海
,
熊谷, 祐希
,
尾花, 宏樹
,
小笠原, 稜
,
濱田, 樹
,
吉井, 稜
,
久保田, 弘
,
橋新, 剛
,
吉岡, 昌雄
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パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の金属汚染評価
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,
阿部, 成海
,
熊谷, 祐希
,
山下, 拓真
,
小笠原, 稜
,
濱田, 樹
,
吉井, 稜
,
久保田, 弘
,
橋新, 剛
,
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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Schlagworte
半導体
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Pulse Photoconductivity Method
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Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
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パルス光伝導法
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界面
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12A-A202-7
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14P-A305-8
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18A-E303-7
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18A-E303-8
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Semiconductor
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