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縮退した多結晶AZO透明導電膜の電気伝導機構:不規則粒界からのキャリア散乱
von
宮田, 俊弘
,
徳永, 浩己
,
南, 内詞
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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スパッタ成膜したZnO系透明導電膜のエッチングによる表面凹凸構造形成
von
平野, 友康
,
野本, 淳一
,
宮田, 俊弘
,
南, 内詞
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
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19A-E201-2
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2A-N-11
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