Suchergebnisse - 出口, 公吉 | OPAC THWS

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シンクロトロン放射光のリソグラフィへの応用 von 出口, 公吉

Veröffentlicht in 照明学会誌

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2

空気浮上式高速XYステージの試作 von 木下, 博雄, 金井, 宗統, 出口, 公吉, 斉藤, 忠男

Veröffentlicht in 精密工学会誌

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3

不透明試料上のパタン検査法の研究 von 木下, 博雄, 出口, 公吉

Veröffentlicht in 精密機械

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4

X線露光装置SR-1のアライメント性能評価 von 出口, 公吉, 竹内, 信行, 木下, 博雄

Veröffentlicht in 精密機械

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5

Air Bearing Guided High Speed XY Stage von KINOSHITA, Hiroo, KANAI, Munenori, DEGUCHI, Kimiyoshi, SAITO, Tadao

Veröffentlicht in Journal of the Japan Society for Precision Engineering

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6

Alignment Accuracy Evaluation of X-Ray Lithography System SR-1 von DEGUCHI, Kimiyoshi, TAKEUCHI, Nobuyuki, KINOSHITA, Hiroo

Veröffentlicht in Journal of the Japan Society of Precision Engineering

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7

地層処分地選定のための地質環境調査技術の実証研究 von 吉村, 公孝, 出口, 朗, 西尾, 光, 近藤, 浩文

Veröffentlicht in 日本地質学会学術大会講演要旨

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