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エチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の堆積反応の赤外分光計測,他の炭化水素プラズマとの反応の違い
von
篠原, 正典
,
冨永, 泰佑
,
下村, 勇登
,
猪原, 武士
,
柳生, 義人
,
大島, 多美子
,
川崎, 仁晴
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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エーテルを用いたプラズマ化学気相堆積過程の赤外分光計測
von
篠原, 正典
,
冨永, 泰佑
,
下村, 勇登
,
猪原, 武士
,
柳生, 義人
,
大島, 多美子
,
川崎, 仁晴
Veröffentlicht in
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