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CH4/H2-RIEによるInP表面における選択的エッチングとポリマーの生成(4)回折格子のアポダイズ化の検討
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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埋込みヘテロ構造をもつフォトニック結晶InGaAsナノ光ディテクタの検討(II) 動作帯域の改善
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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