両面研磨加工におけるウェーハ厚さむら抑制のための加工条件最適化 von 福井, 克成, 廣瀬, 研二, 佐竹, うらら, 榎本, 俊之, 杉原, 達哉

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骨切除時の熱侵襲を抑制する医療用研削工具（冷却水としての生理食塩水の影響） von 水谷, 建, 榎本, 俊之, 小園, 典也, 佐竹, うらら, 杉原, 達哉

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シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程: 研磨パッド変形量がエッジ・ロールオフ生成に及ぼす影響 von 佐竹, うらら, 榎本, 俊之

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高平坦エッジ形状を実現する研磨パッド特性（加工前エッジ形状がエッジ形状創成過程に及ぼす影響） von 佐竹, うらら, 榎本, 俊之

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高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発（二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上） von 佐竹, うらら, 榎本, 俊之, 三宅, 貴大, 田畑, 憲一

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研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究 von 内藤, 達也, 佐藤, 基起, 佐竹, うらら, 廣瀬, 研二, 榎本, 俊之

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Achievement of Highly Flat Edge with Double-Layered Polishing Pad (Improvement of Edge Flatness with Softening Upper Layer) von SATAKE, Urara, ENOMOTO, Toshiyuki, MIYAKE, Takahiro, TABATA, Norikazu

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Polishing Pad Specifications for Achieving High Edge Surface Flatness (Effect of Existing Edge Roll Off on Generated Edge Surface Profile) von SATAKE, Urara, ENOMOTO, Toshiyuki

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Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface von NAITO, Tatsuya, SATO, Motoki, SATAKE, Urara, HIROSE, Kenji, ENOMOTO, Toshiyuki

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