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シリコンウェーハ中炭素関連結晶欠陥のパワーデバイス特性への影響
von
佐々木, 駿
,
三次, 伯知
,
佐俣, 秀一
,
附田, 正則
,
大村, 一郎
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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2
DLTS法を用いたSi基板中の微量炭素測定~ウェット処理時の水素挙動
von
大戸, 貴史
,
江里口, 和隆
,
三次, 伯知
,
佐俣, 秀一
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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電子線照射前処理を用いたSi基板中の微量炭素測定 DLTS/室温PL
von
江里口, 和隆
,
三次, 伯知
,
佐俣, 秀一
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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Artikel
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4
SSDによる禁制反射の研究
von
坂, 貴
,
佐俣, 秀一
,
加藤, 範夫
Veröffentlicht in
日本結晶学会誌
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5
27a-L-8 X線CTR散乱によるSio_2/Si(001)の構造研究II
von
志村, 考功
,
原田, 仁平
,
佐俣, 秀一
,
松下, 嘉明
Veröffentlicht in
年会講演予稿集
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結晶工学
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結晶評価,不純物・結晶欠陥
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