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ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上へのAlNのMOVPE成長
von
伊庭, 由季乃
,
正直, 花奈子
,
窪谷, 茂幸
,
上杉, 謙次郎
,
肖, 世玉
,
三宅, 秀人
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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ナノPSS上スパッタ堆積アニールAlN膜を基板に用いたホモエピ成長
von
伊庭, 由季乃
,
正直, 花奈子
,
上杉, 謙次郎
,
肖, 世玉
,
三宅, 秀人
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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