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硝酸酸化ゲート酸化膜を持つ超低消費電力型薄膜トランジスタ:液晶ディスプレイとリングオシレータへの応用
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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硝酸酸化膜を界面層とした極薄積層型ゲート酸化膜を持つ超低消費電力型薄膜トランジスタの創製と液晶ディスプレイへの応用
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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硝酸酸化法を用いて形成した10 nmの膜厚の積層型ゲート酸化膜を持つ超低消費電力型薄膜トランジスタの創製
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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硝酸酸化薄膜を界面層に用いた20 nm積層型ゲート絶縁膜とサブミクロンのゲート長を持つ超低消費電力型薄膜トランジスタの特性
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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