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Auを用いた熱圧着マイクロ接合技術: サブミクロンAu粒子を用いたAu接合技術およびAuバンプと接着剤のハイブリッド接合技術
von
水野, 潤
,
佐久間, 克幸
,
仁村, 将次
,
若井, 史博
,
庄子, 習一
Veröffentlicht in
精密工学会誌
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シリコンチップの新接合技術
von
水野, 潤
,
佐久間, 克幸
,
宇波, 奈保子
,
仁村, 将次
,
庄子, 習一
Veröffentlicht in
スマートプロセス学会誌
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3
三次元集積化技術のための簡易低コストハイブリッド接合
von
仁村, 将次
,
佐久間, 克幸
,
荻野, 浩司
,
榎本, 智之
,
庄子, 習一
,
水野, 潤
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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