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    スパッタ成膜中の強磁性薄膜成長過程の内部応力観測

    スパッタ成膜中の強磁性薄膜成長過程の内部応力観測 von 中川 茂樹, 林原 久憲, 中込 将成, 小川 良正, 高村 陽太


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