両面同時研磨における上定盤研磨パッド表面性状測定装置の開発と研磨特性の評価 von 畝田, 道雄, 早川, 光祐, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 大造, 石川, 憲一

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サファイアCMPにおける研磨パッド表面温度と研磨レートの関係 von 畝田, 道雄, 松永, 敬弘, 高橋, 佳宏, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 大造, 石川, 憲一

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Si-CMPの研磨レートに及ぼす要因分析 von 畝田, 道雄, 髙橋, 佳宏, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 大造, 石川, 憲一

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革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築（ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立） von 土肥, 俊郎, 瀬下, 清, 山崎, 努, 大坪, 正徳, 西澤, 秀明, 村上, 幸, 市川, 大造, 中村, 由夫, 宮下, 忠一, 川村, 佳秀, 高木, 正孝, 柏田, 太志, 曾田, 英雄

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研磨パッド表面性状の定量評価手法の開発: 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響 von 畝田, 道雄, 前田, 有樹, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 大造, 石川, 憲一

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コンディショニングによる研磨パッド表面の微小面内変位特性の評価 von 畝田, 道雄, 表, 辰憲, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 大造, 石川, 憲一

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VB法β-Ga2O3単結晶の結晶方位制御 von 小林, 拓実, 大葉, 悦子, 宮川, 千宏, 中村, 由夫, 干川, 圭吾

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VB法で育成したβ-Ga2O3単結晶におけるSnドーピングによる抵抗率制御 von 加渡, 幹尚, 大葉, 悦子, 小林, 拓実, 中村, 由夫, 干川, 圭吾

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一方向凝固β-Ga2O3単結晶の成長方位 von 小林, 拓実, 大葉, 悦子, 宮川, 千宏, 中村, 由夫, 干川, 圭吾

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大気雰囲気中で育成したβ-Ga2O3 単結晶の電気特性評価 von 加渡, 幹尚, 大葉, 悦子, 小林, 拓実, 中村, 由夫, 干川, 圭吾

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一方向凝固β-Ga2O3単結晶の欠陥評価 von 大葉, 悦子, 小林, 拓実, 中村, 由夫, 加渡, 幹尚, 斉藤, 広明, 干川, 圭吾

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一方向凝固β-Ga2O3単結晶（Ⅱ） von 大葉, 悦子, 小林, 拓実, 中村, 由夫, 宮川, 千宏, 澁谷, 和孝, 柳澤, 潤, 中澤, みなみ, 干川, 圭吾

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一方向凝固β-Ga2O3 単結晶（Ⅰ） von 小林, 拓実, 大葉, 悦子, 中村, 由夫, 宮川, 千宏, 澁谷, 和孝, 柳澤, 潤, 中澤, みなみ, 干川, 圭吾

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高速MP・CMP装置を用いたミニマルファブプロセス von 梅山, 規男, 古賀, 和博, 居村, 史人, 澁谷, 和孝, 布施, 貴之, 中村, 由夫, 市川, 浩一郎, クンプアン, ソマワン, 原, 史朗

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ミニマルCMP装置によるSi及びSiO2膜研磨の面内均一性 von 梅山, 規男, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 浩一郎, ソマワン, クンプアン, 原, 史朗

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P2-46. テレワーク労働者における身体活動の促進要因 : フォーカスグループインタビュー von 塩満智子, 高野愛紗, 水島諒子, キム ジフン, 河邊優, 中村睦美, 川原瑞希, 中田由夫, 月野木ルミ

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ミニマルCMP装置によるSi及びSiO2膜に対するCMPプロセス von 梅山, 規男, 居村, 史人, 中戸, 克彦, 澁谷, 和孝, 中村, 由夫, 市川, 浩一郎, ソマワン, クンプアン, 原, 史朗

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健康関連QOLの維持・改善を目指した地域における健康づくりのあり方: 高齢者の体力水準に着目して von 中村, 容一, 田中, 喜代次, 藪下, 典子, 松尾, 知明, 中田, 由夫, 室武, 由香子

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436 中部山岳地域におけるVLBI観測 (その1) von 角野, 由夫, 高橋, 英利, 中村, 佐武六, 堀口, 規昭, 宮川, 智好, 永田, 勝裕, 川口, 則幸, 松本, 欣也, 亀野, 誠二, 宮地, 竹史, 御子柴, 廣, 森本, 雅樹

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GPS Observation Around the Sagami Bay, South Kanto, Japan (General Report) von MURATA, Ichiro, KASAHARA, Minoru, YAMAMOTO, Akihiro, ICHIKAWA, Ryuichi, MIURA, Satoshi, TACHIBANA, Kenji, NAKAO, Shigeru, NIDA, Koichi, FUJII, Yoichiro, NAGASAKA, Ken'ichi, KANAZAWA, Toshihiko, WAKITA, Hiroshi, YABUKI, Tetsuichiro, SHIBAZAKI, Bun'ichiro, KATO, Teruyuki, OKUBO, Shuhei, WATADA, Shingo, KAWAI, Eiji, ISHII, Hiroshi, MATSUMOTO, Shigeo, HIRATA, Yasuhiro, SATOMURA, Mikio, SASAKI, Yuji, USUI, Wahei, KIMATA, Fumiaki, SUMINO, Yoshio, OKUDA, Takasi, MIYAJIMA, Rikio, NAKAMURA, Masaru, NAKAMURA, Kajuro, ITO, Kiyoshi, YABUTA, Yutaka, FUJIWARA, Satoshi, TANAKA, Torao, HIRAHARA, Kazuro, HOSO, Yoshinobu, KOIZUMI, Makoto, TABEI, Takao

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