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    面熱源を用いた多点同時熱応力割断加工法

    面熱源を用いた多点同時熱応力割断加工法 von 沢田, 博司, 今井, 康文, 才本, 明秀, 中堀, 宏亮

    Veröffentlicht in 精密工学会誌論文集

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    Multi-Point Simultaneous Thermal Stress Cleaving Using a Plane Heat Source

    Multi-Point Simultaneous Thermal Stress Cleaving Using a Plane Heat Source von SAWADA, Hiroshi, IMAI, Yasufumi, SAIMOTO, Akihide, NAKAHORI, Hiroaki


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