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    エチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の堆積反応の赤外分光計測，他の炭化水素プラズマとの反応の違い

    エチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の堆積反応の赤外分光計測，他の炭化水素プラズマとの反応の違い von 篠原, 正典, 冨永, 泰佑, 下村, 勇登, 猪原, 武士, 柳生, 義人, 大島, 多美子, 川崎, 仁晴


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    エーテルを用いたプラズマ化学気相堆積過程の赤外分光計測

    エーテルを用いたプラズマ化学気相堆積過程の赤外分光計測 von 篠原, 正典, 冨永, 泰佑, 下村, 勇登, 猪原, 武士, 柳生, 義人, 大島, 多美子, 川崎, 仁晴


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