シリコン酸化膜におけるシリコンナノ結晶の成長メカニズムの解明に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション von 田村, 玄汰, 上根, 直也, 後藤, 和泰, 宇佐美, 徳隆, 徳増, 崇

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