プラズマエッチングにおけるArFレジストLine-Edge-Roughness (LER) の側鎖構造依存性 von 上杉, 拓志, 岡田, 健, 加藤, 圭輔, 安田, 敦, 前田, 晋一, 寒川, 誠二

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プラズマエッチングにより発生するArFレジストLine-Edge-Roughness (LER)のポリマー主鎖構造依存性 von 上杉, 拓志, 和田, 章良, 岡田, 健, 加藤, 圭輔, 安田, 敦, 佐久間, 諭, 前田, 晋一, 寒川, 誠二

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プラズマエッチングにおけるArF レジストLine-Edge-Roughness (LER) のポリマー構造依存性 von 上杉, 拓志, 加藤, 圭輔, 安田, 敦, 佐久間, 諭, 前田, 晋一, 寒川, 誠二

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プラズマエッチングにおけるArF レジストLine-Edge-Roughness (LER)発生状態のラクトン構造依存性 von 上杉, 拓志, 小山, 紘司, 陣内, 佛霖, 前田, 晋一, 加藤, 圭輔, 安田, 敦, 百瀬, 陽, 寒川, 誠二

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