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    マスク用電子ビーム描画装置の最新動向

    マスク用電子ビーム描画装置の最新動向 von 竹越, 秀和, 上久保, 貴司, 吉武, 俊介, 斎藤, 賢一


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    電子線マスク描画装置EBM-8000のグローバル位置精度

    電子線マスク描画装置EBM-8000のグローバル位置精度 von 鶴田, 薫, 上久保, 貴司, 西村, 理恵子, 吉武, 秀介, 玉虫, 秀一


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    電子線マスク描画装置のかぶり効果補正(評価)

    電子線マスク描画装置のかぶり効果補正(評価) von 大西, 孝幸, 安瀬, 博人, 上久保, 貴司, 服部, 芳明, 玉虫, 秀一


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    29a-B-4 Yb_2O_3-Ta_2O_5系欠陥蛍石型酸化物の散漫散乱

    29a-B-4 Yb_2O_3-Ta_2O_5系欠陥蛍石型酸化物の散漫散乱 von 上久保, 貴司, 森, 茂生, 山本, 直紀, 矢野, 樹史, 石澤, 伸夫


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    30p-YM-2 欠陥蛍石型構造結晶R_3TaO_7の散漫散乱

    30p-YM-2 欠陥蛍石型構造結晶R_3TaO_7の散漫散乱 von 上久保, 貴司, 森, 茂生, 山本, 直紀, 矢野, 樹史, 石澤, 伸夫


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    3a-X-11 欠陥蛍石型Yb_2O_3-Ta_2O_5の散漫散乱

    3a-X-11 欠陥蛍石型Yb_2O_3-Ta_2O_5の散漫散乱 von 上久保, 貴司, 森, 茂生, 山本, 直紀, 矢野, 樹史, 石澤, 伸夫


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