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振幅変調によるマイクロ波プラズマの低速回転
von
堀田, 将也
,
小川, 大輔
,
中村, 圭二
,
スーナム, パーク
,
ディマ, ルボミルスキー
,
小林, 理
,
菅井, 秀郎
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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2
円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマの生成
von
長谷川, 雄一
,
小川, 大輔
,
中村, 圭二
,
パーク, スーナム
,
小林, 理
,
菅井, 秀郎
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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円筒キャビティによるマイクロ波プラズマ生成の密度分布制御
von
堀田, 将也
,
長谷川, 雄一
,
小川, 大輔
,
中村, 圭二
,
スーナム, パーク
,
ディマ, ルボミルスキー
,
小林, 理
,
菅井, 秀郎
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円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマ生成
von
長谷川, 雄一
,
小川, 大輔
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中村, 圭二
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パーク, スーナム
,
小林, 理
,
菅井, 秀郎
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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Microwave Plasma
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プラズマエレクトロニクス
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プラズマ生成・制御
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マイクロ波プラズマ
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マイクロ波プラズマの生成・制御
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円筒キャビティ
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Solid-State
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固体アンプ
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15A-B7-5
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1
17P-315-11
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1
21A-W611-10
1 Treffer
1
7A-A413-6
1 Treffer
1
Amplitude Modulation
1 Treffer
1
振幅変調
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