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ナノワイヤ型不純物偏析ショットキー接合MOSFETにおけるワイヤ幅縮小効果
von
遠藤, 清
,
橋本, 修一郎
,
武井, 康平
,
ソン, セイ
,
張, 旭
,
徐, 泰宇
,
麻田, 修平
,
大場, 俊輔
,
松川, 貴
,
昌原, 明植
,
渡邉, 孝信
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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2
Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化反応の高精度制御
von
大場, 俊輔
,
橋本, 修一郎
,
武井, 康平
,
ソン, セイ
,
張, 旭
,
徐, 泰宇
,
麻田, 修平
,
臼田, 稔宏
,
遠藤, 清
,
富田, 基裕
,
徳武, 寛紀
,
今井, 亮佑
,
小椋, 厚志
,
松川, 貴
,
昌原, 明植
,
渡邉, 孝信
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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3
Niシリサイド化速度のSi結晶構造依存性 -分子動力学法による解析
von
橋本, 修一郎
,
小杉山, 洋希
,
セイ, ソン
,
武井, 康平
,
木谷, 哲
,
図師, 知文
,
渡邉, 孝信
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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4
ナノワイヤ型ショットキー障壁トンネルFETの動作解析
von
徐, 泰宇
,
小杉山, 洋希
,
橋本, 修一郎
,
武井, 康平
,
ソン, セイ
,
麻田, 修平
,
張, 旭
,
若水, 昂
,
松川, 貴
,
昌原, 明植
,
渡邉, 孝信
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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5
ナノワイヤ型ショットキー障壁トンネルFETのON電流密度増大
von
麻田, 修平
,
小杉山, 洋希
,
橋本, 修一郎
,
武井, 康平
,
ソン, セイ
,
張, 旭
,
徐, 泰宇
,
若水, 昂
,
松川, 貴
,
昌原, 明植
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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6
酸化膜被覆型Siナノワイヤのシリサイド化に伴う破裂現象
von
武井, 康平
,
小杉山, 洋希
,
橋本, 修一郎
,
セイ, ソン
,
麻田, 修平
,
徐, 泰宇
,
若水, 昂
,
松川, 貴
,
昌原, 明植
,
渡邉, 孝信
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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7
SiナノワイヤのNiシリサイド化速度へのポスト酸化アニールの影響
von
セイ, ソン
,
橋本, 修一郎
,
小杉山, 洋希
,
武井, 康平
,
麻田, 修平
,
徐, 泰宇
,
若水, 昂
,
今井, 亮佑
,
徳武, 寛紀
,
松川, 貴
,
富田, 基裕
,
小椋, 厚志
,
昌原, 明植
,
渡邉, 孝信
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