マイクロ波表面波プラズマCVDによるカーボン膜の光電流の分光感度特性 von 市村, 進, ギミレ, ディィップ. チャンドラ, アディカリ, スディープ, 内田, 秀雄, 脇田, 紘一, 林, 靖彦, 梅野, 正義

Volltext