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ノーマリーオフAl2O3/AlGaN/GaN MOS-HEMTのAl2O3膜厚によるしきい値制御
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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スパッタリング法によるSiN膜をゲート絶縁膜とするノーマリーオフAlGaN/GaN MIS-HEMTの電気的特性評価
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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