УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ von Тарасов, Д.В., Баранов, Ю.Н., Федотов, С.Д., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Гаврилов, С.А.

Volltext

ФОРМИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ ALN НА ТЕМПЛЕЙТАХ 3С-SIC/SI(111) МЕТОДОМ АММИАЧНОЙ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ... von Федотов, С.Д., Бабаев, А.В., Стаценко, В.Н., Царик, К.А., Неволин, В.К.

Volltext

УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ von Баранов, Ю.Н., Тарасов, Д.В., Федотов, С.Д., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Гаврилов, С.А.

Volltext

ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ GA(AL)N ДЛЯ СИЛОВЫХ HEMT НА СВЕРХВЫСОКООМНЫХ СТРУКТУРАХ КРЕМНИЯ von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н.

Volltext

Влияние твердофазной рекристаллизации с двойной имплантацией на плотность структурных дефектов в ультратонких слоях кремния на сапфире... von Федотов, С.Д., Стаценко, В.Н., Егоров, Н.Н., Голубков, С.А.

Volltext

ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ GA(AL)N ДЛЯ СИЛОВЫХ HEMT НА СВЕРХВЫСОКООМНЫХ СТРУКТУРАХ КРЕМНИЯ von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н.

Volltext

ВЛИЯНИЕ ТВЕРДОФАЗНОЙ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ С ДВОЙНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ НА ПЛОТНОСТЬ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В УЛЬТРАТОНКИХ СЛОЯХ КРЕМНИЯ НА САПФИРЕ... von Егоров, Н.Н., Голубков, С.А., Федотов, С.Д., Стаценко, В.Н., Романов, А.А., Метлов, В.А.

Volltext

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СВЕРХВЫСОКООМНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 ММ ДЛЯ РОСТА GA(AL) N-СОЕДИНЕНИЙ МЕТОДОМ МОГФЭ... von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Сахаров, А.В., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Егоркин, В.И., Земляков, В.Е., Зайцев, А.А., Чуканова, О.Б.

Volltext

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СВЕРХВЫСОКООМНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 ММ ДЛЯ РОСТА GA(AL)N-СОЕДИНЕНИЙ МЕТОДОМ МОГФЭ... von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Сахаров, А.В., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Егоркин, В.И., Земляков, В.Е., Зайцев, А.А., Чуканова, О.Б.

Volltext

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ... von Бирюков, М.Г., Одиноков, В.В., Афонин, П.Е., Шубников, А.В., Панин, В.В., Устинов, В.М., Цуцульников, А.Ф., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Стаценко, В.Н., Федотов, С.Д., Талалаев, Р.А., Базаревский, Д.С.

Volltext