ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА КОМПЕНСАЦИОННОГО ТИПА von Иванов, С.Ю., Жукова, С.А., Обижаев, Д.Ю., Турков, В.Е., Ульянов, С.А.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НАД ПОЛОСТЬЮ», ГЕРМЕТИЗИРУЕМЫХ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН... von Жукова, С.А., Иванов, С.Ю., Новичков, Е.А., Обижаев, Д.Ю., Ромахин, П.А., Суздальцев, С.Ю., Турков, В.Е., Ульянов, С.А.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НАД ПОЛОСТЬЮ", ГЕРМЕТИЗИРУЕМЫХ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН... von Жукова, С.А., Новичков, Е.А., Обижаев, Д.Ю., Суздальцев, С.Ю., Турков, В.Е., Ромахин, П.А., Ульянов, С.А., Иванов, С.Ю.

Volltext