ИЗМЕРЕНИЕ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЕРСПЕКТИВНЫХ ДЕТЕКТОРОВ СИСТЕМ ТЕХНИЧЕСКОГО ЗРЕНИЯ von Копцев, Д.А., Жукова, С.А., Турков, В.Е.

Volltext

МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПАРАМЕТРОВ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА НЕОХЛАЖДАЕМОГО МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКОГО ДЕТЕКТОРА... von Демин, С.А., Жукова, С.А., Турков, В.Е.

Volltext

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА КОМПЕНСАЦИОННОГО ТИПА von Иванов, С.Ю., Жукова, С.А., Обижаев, Д.Ю., Турков, В.Е., Ульянов, С.А.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРЕЦИЗИОННЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ МАГНИТНОГО ПОЛЯ... von Баранов, А.А., Жуков, С.А., Обижаев, Д.Ю., Турков, В.Е.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НАД ПОЛОСТЬЮ», ГЕРМЕТИЗИРУЕМЫХ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН... von Жукова, С.А., Иванов, С.Ю., Новичков, Е.А., Обижаев, Д.Ю., Ромахин, П.А., Суздальцев, С.Ю., Турков, В.Е., Ульянов, С.А.

Volltext

ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ SLID-СТРУКТУРЫ CUSN ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МЭМС НА УРОВНЕ ПЛАСТИНЫ von Грабов, А.В., Суздальцев, С.Ю., Рискин, Д.Д., Обижаев, Д.Ю., Турков, В.Е., Жуков, С.А.

Volltext

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НАД ПОЛОСТЬЮ", ГЕРМЕТИЗИРУЕМЫХ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН... von Жукова, С.А., Новичков, Е.А., Обижаев, Д.Ю., Суздальцев, С.Ю., Турков, В.Е., Ромахин, П.А., Ульянов, С.А., Иванов, С.Ю.

Volltext

ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ CU-SN ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МЭМС НА УРОВНЕ ПЛАСТИНЫ von Грабов, А.В., Суздальцев, С.Ю., Рискин, Д.Д., Обижаев, Д.Ю., Турков, В.Е., Жукова, С.А.

Volltext

МЕТОДИКА ОЦЕНКИ ХАРАКТЕРИСТИК ТЕРМОРЕЗИСТИВНОГО СЛОЯ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ВАНАДИЯ von Ерастов, Д.А., Жукова, С.А., Турков, В.Е., Демин, С.А., Трошин, Б.В., Рубцов, И.А., Парышева, Е.Д.

Volltext