УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ von Тарасов, Д.В., Баранов, Ю.Н., Федотов, С.Д., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Гаврилов, С.А.

Volltext

УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ von Баранов, Ю.Н., Тарасов, Д.В., Федотов, С.Д., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Гаврилов, С.А.

Volltext

ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ GA(AL)N ДЛЯ СИЛОВЫХ HEMT НА СВЕРХВЫСОКООМНЫХ СТРУКТУРАХ КРЕМНИЯ von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н.

Volltext

ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ GA(AL)N ДЛЯ СИЛОВЫХ HEMT НА СВЕРХВЫСОКООМНЫХ СТРУКТУРАХ КРЕМНИЯ von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н.

Volltext

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СВЕРХВЫСОКООМНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 ММ ДЛЯ РОСТА GA(AL) N-СОЕДИНЕНИЙ МЕТОДОМ МОГФЭ... von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Сахаров, А.В., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Егоркин, В.И., Земляков, В.Е., Зайцев, А.А., Чуканова, О.Б.

Volltext

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СВЕРХВЫСОКООМНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 ММ ДЛЯ РОСТА GA(AL)N-СОЕДИНЕНИЙ МЕТОДОМ МОГФЭ... von Федотов, С.Д., Лундин, В.В., Заварин, Е.Е., Сахаров, А.В., Цацульников, А.Ф., Соколов, Е.М., Стаценко, В.Н., Егоркин, В.И., Земляков, В.Е., Зайцев, А.А., Чуканова, О.Б.

Volltext