ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ von Денисов, В.Е., Орешкин, Г.И., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Махиборода, М.А.

Volltext

РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ТОРСИОННЫМ МИКРОЗЕРКАЛОМ НА БАЗЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ МЕМБРАННОЙ СТРУКТУРЫ... von Белова, С.Д., Чиненков, М.Ю., Орешкин, Г.И., Демин, Г.Д., Ким, П.П.

Volltext

РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ТОРСИОННЫМ МИКРОЗЕРКАЛОМ НА БАЗЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ МЕМБРАННОЙ СТРУКТУРЫ... von Белова, С.Д., Чиненков, М.Ю., Орешкин, Г.И., Демин, Г.Д., Ким, П.П.

Volltext

ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ von Денисов, В.Е., Орешкин, Г.И., Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Дюжев, Н.А.

Volltext

МЕМБРАННЫЙ МЭМС-ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ТЕПЛОВОМ ПРИНЦИПЕ ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ... von Поздняков, М.М., Евсиков, И.Д., Демин, Г.Д., Орешкин, Г.И., Дюжев, Н.А., Машевич, П.Р.

Volltext