ВЛИЯНИЕ РАЗМЕРНОГО ЭФФЕКТА НА КЛАСТЕРНУЮ ИОННУЮ ЭМИССИЮ НАНОСТРУКТУР КРЕМНИЯ von ТОЛСТОГУЗОВ, А.Б., ДРОЗДОВ, М.Н., ИЕШКИН, А.Е., ТАТАРИНЦЕВ, А.А., МЯКОНЬКИХ, А.В., БЕЛЫХ, С.Ф., КОРОБЕЙЩИКОВ, Н.Г., ПЕЛЕНОВИЧ, В.О., ФУ, Д.

Volltext

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ЛИНИЙ В ПОРИСТЫХ ДИЭЛЕКТРИКАХ ДЛЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛИЗАЦИИ С ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ 28 НМ И НИЖЕ... von Орлов, А.А., Резванов, А.А., Мяконьких, А.В.

Volltext

Управление магнитной анизотропией и оптическими характеристиками наноструктурированных пленок кобальта методом наклонного напыления... von Трушин, О.С., Фаттахов, И.C., Попов, А.А., Мазалецкий, Л.А., Ломов, А.А., Захаров, Д.М., Гайдукасов, Р.А., Мяконьких, А.В., Шендрикова, Л.А.

Volltext

СТРУКТУРЫ "КРЕМНИЙ НА HIGH-K-ДИЭЛЕКТРИКЕ" НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ von Попов, В.П., Тихоненко, Ф.В., Гутаковский, А.К., Мяконьких, А.В., Руденко, К.В., Тысченко, И.Е.

Volltext