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ОПЫТ РАЗРАБОТКИ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ОСНОВЕ НИТРИДНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР
von
Иванова, Н.Е.
,
Гнатюк, Д.Л.
,
Матвеенко, О.С.
Veröffentlicht in
Nanoindustry Russia
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