Фотолюминесценция оксида гафния, синтезированного методом атомно-слоевого осаждения von Булярский, С.В., Литвинова, К.И., Кириленко, Е.П., Рудаков, Г.А., Дудин, А.А.

Volltext

Исследование пленок оксида кремния, имплантированных цинком von Привезенцев, В.В., Сергеев, А.П., Фирсов, А.А., Куликаускас, В.С., Якимов, Е.Е., Кириленко, Е.П., Горячев, А.В.

Volltext