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РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ТОРСИОННЫМ МИКРОЗЕРКАЛОМ НА БАЗЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ МЕМБРАННОЙ СТРУКТУРЫ...
von
Белова, С.Д.
,
Чиненков, М.Ю.
,
Орешкин, Г.И.
,
Демин, Г.Д.
,
Ким, П.П.
Veröffentlicht in
Nanoindustry Russia
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von
Белова, С.Д.
,
Чиненков, М.Ю.
,
Орешкин, Г.И.
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Ким, П.П.
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